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半導體等離子應用的最高功率固態微波産生器
發佈時間:2017-07-25 11:46:54
簡述:Reno Sub-Systems推出用于半導體等離子應用的業界最高功率微波産生器
業界領先的高性能射頻(RF)匹配網絡,射頻發電機和半導體製造氣體流量管理系統的生産商Reno Sub-Systems 在SEMICON West公佈了其Precis固態發電機系列的最新産品。新的Precis固態發電機能夠以2.45GHz輸出1.6kW功率的微波,這是致力于半導體等離子應用的最高功率固態微波産生器。該公司的發電機滿足了半導體業對先進子系統技術日益增長的需求,以協助行業保持摩爾定律的步伐。
“幾十年來,子系統首次實現了新的製程和未來的元件世代。 ” Reno Sub-Systems 的首席執行官Bob MacKnight表示,“我們技術得到業界廣泛認可,80%的頂級半導體元件製造商和設備製造商已經訂購了Reno的産品。”
Precis微波發電機使用高度可靠的固態架構以提供精確,可重複和穩定的微秒斜坡時間。與相對應的磁控管技術的微波發電機相比,Precis的微波功率控制可以提供顯著提升的頻率控制。消除老化的磁控管技術也降低了維護要求,從而降低了所有權成本。
Precis系列發電機是Reno 公司卓越的Velocity系列EVC匹配網絡産品組合的最新産品。 Velocity EVC匹配網絡具有超群的性能和處理能力,實現範圍從500W至4.5kW,頻率爲500kHZ至40MHz。
建亞電子/台灣燦達HR (Joint Tech Electronic)是集連接器産品研發、制造、銷售一體的專業燦達連接器(HR Connector)制造型企業,産品有環保無鹵電子連接器、線對板連接器、板對板連接器、線對線連接器、小間距FFC/FPC連接器及連接器模具研發制 造,連接器廠家(燦達電子)爲客戶提供定制化服務,專案開發。
官網:http://www.okconn.com,連接器産品咨詢400-0769-458,0769-83970035.
“幾十年來,子系統首次實現了新的製程和未來的元件世代。 ” Reno Sub-Systems 的首席執行官Bob MacKnight表示,“我們技術得到業界廣泛認可,80%的頂級半導體元件製造商和設備製造商已經訂購了Reno的産品。”
Precis微波發電機使用高度可靠的固態架構以提供精確,可重複和穩定的微秒斜坡時間。與相對應的磁控管技術的微波發電機相比,Precis的微波功率控制可以提供顯著提升的頻率控制。消除老化的磁控管技術也降低了維護要求,從而降低了所有權成本。
Precis系列發電機是Reno 公司卓越的Velocity系列EVC匹配網絡産品組合的最新産品。 Velocity EVC匹配網絡具有超群的性能和處理能力,實現範圍從500W至4.5kW,頻率爲500kHZ至40MHz。
建亞電子/台灣燦達HR (Joint Tech Electronic)是集連接器産品研發、制造、銷售一體的專業燦達連接器(HR Connector)制造型企業,産品有環保無鹵電子連接器、線對板連接器、板對板連接器、線對線連接器、小間距FFC/FPC連接器及連接器模具研發制 造,連接器廠家(燦達電子)爲客戶提供定制化服務,專案開發。
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